外力撤除后在材料內(nèi)部殘留的應(yīng)力就是殘余應(yīng)力。但是，習(xí)慣上將殘余應(yīng)力分為微觀應(yīng)力和宏觀應(yīng)力。兩種應(yīng)力在X射線衍射譜中的表現(xiàn)是不相同的。

微觀應(yīng)力是指晶粒內(nèi)部殘留的應(yīng)力，它的存在，使衍射峰變寬,而超微觀應(yīng)力的存在則會(huì)使衍射峰強(qiáng)度降低。這種變寬通常與因?yàn)榫Я＜?xì)化引起的衍射峰變寬混雜在一起，兩者形成卷積。通過測量衍射峰的寬化，并采用近似函數(shù)法或傅立葉變換方法來求得微觀應(yīng)力的大小。

宏觀應(yīng)力是指存在于多個(gè)晶體尺度范圍內(nèi)的應(yīng)力，相對(duì)于微觀應(yīng)力存在的范圍而視為宏觀上存在的應(yīng)力。一般情況下，殘余應(yīng)力的術(shù)語就是指在宏觀上存在的這種應(yīng)力。宏觀殘余應(yīng)力（以下稱殘余應(yīng)力）在X射線衍射譜上的表現(xiàn)是使峰位漂移。當(dāng)存在壓應(yīng)力時(shí)，晶面間距變小，因此，衍射峰向高角度偏移，反之，當(dāng)存在拉應(yīng)力時(shí)，晶面間的距離被拉大，導(dǎo)致衍射峰位向低角度位移。通過測量樣品衍射峰的位移情況，可以求得殘余應(yīng)力。

cosα 法結(jié)果參考

1、尺寸：邊長大于5mm，小于3cm，厚度小于8mm，其他尺寸可以先寫測試單我們確認(rèn)。

2、XRD測得是宏觀殘余應(yīng)力，做殘余應(yīng)力前，肯定要先做普通的XRD，且在譜圖中可以找到一個(gè)強(qiáng)度較高的獨(dú)立的峰，且要知道該峰的晶面指數(shù)和2θ角位置，以及該物質(zhì)的泊松比和彈性模量。

3、如果是混合物，則需每一物相滿足該條件，測出每一物相的殘余應(yīng)力，在按不同的體積比進(jìn)行計(jì)算整個(gè)試樣的殘余應(yīng)力.

4、切割時(shí)最好手工，否則容易帶入外來的應(yīng)力。

5、樣品是各向異性，那要明確測得是哪個(gè)方向（比如冷軋板按照纖維方向和垂直纖維方向殘余應(yīng)力是不一樣的）。

6、有基地的薄膜樣品，樣品薄的需要掠入射XRD測試。

7、殘余應(yīng)力剝層測試、測試靶材有要求請(qǐng)?zhí)厥鈧渥ⅰ?/p>